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发明名称
CONFOCAL OPTICAL DEVICE AND TILT ADJUSTING METHOD FOR DETECTOR ARRAY THEREOF
摘要
申请公布号
JPH11148809(A)
申请公布日期
1999.06.02
申请号
JP19970331311
申请日期
1997.11.13
申请人
KOMATSU LTD
发明人
ENDO TAKAYOSHI;SUDA ERI
分类号
G01B11/24;G02B5/32;G02B7/00;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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