发明名称 METHOD OF CALIBRATING STANDARD SAMPLE, AND METHOD OF MEASURING CONCENTRATION OF IMPURITY
摘要
申请公布号 JPH11150167(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970332385 申请日期 1997.11.17
申请人 NEC CORP 发明人 SHO TOSHIYUKI
分类号 G01N1/00;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
主权项
地址