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发明名称
METHOD OF CALIBRATING STANDARD SAMPLE, AND METHOD OF MEASURING CONCENTRATION OF IMPURITY
摘要
申请公布号
JPH11150167(A)
申请公布日期
1999.06.02
申请号
JP19970332385
申请日期
1997.11.17
申请人
NEC CORP
发明人
SHO TOSHIYUKI
分类号
G01N1/00;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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