| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SOI DEVICE AND NON-SOI DEVICE ON ONE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11150182(A) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
JP19980257791 |
申请日期 |
1998.09.11 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
FURUKAWA TOSHIHARU;MARK C HAKEY;STEVEN J HOLMS;DAVID V HOLLACK;PAUL A RABIDOU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/092;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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