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发明名称
摘要
申请公布号	JP2900897(B2)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	JP19960283645	申请日期	1996.10.25
申请人	NIPPON DENKI KK	发明人	MATSUBARA YOSHIHISA;ISHIGAMI TAKASHI;IGUCHI MANABU
分类号	H01L21/28;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28	主分类号	H01L21/28
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