| 发明名称 |
Holding cassette for precision substrates and method for the preparation thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0775566(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
EP19960402476 |
申请日期 |
1996.11.18 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.;SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED |
发明人 |
KOGURE, KEIJI |
| 分类号 |
B65D85/86;B29C45/17;B65D85/57;G11B23/02;G11B23/03;H01L21/673;(IPC1-7):B29C45/17;H01L21/00 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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