Verfahren zur Herstellung eines Aggregats von Mikro-Nadeln aus Halbleitermaterial,申请号DE1994618143-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Aggregats von Mikro-Nadeln aus Halbleitermaterial
摘要
申请公布号	DE69418143(D1)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	DE1994618143	申请日期	1994.11.02
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	ERIGUCHI, KOJI, YAO-SHI, OSAKA 581, JP;KUBOTA, MASAFUMI, OSAKA-SHI, OSAKA 535, JP;NIWA, MASAAKI, HIRAKATA-SHI, OSAKA 573, JP;NOMURA, NOBORU, KYOTO-SHI, KYOTO 612, JP
分类号	B81B3/00;G01Q70/10;G01Q70/16;G02B6/12;G02B6/124;G11C23/00;H01H1/00;H01L21/308;H01L31/0352;H01L31/18;H01L33/10;H01L33/18;(IPC1-7):H01L33/00;H01L21/30;H01L27/15	主分类号	B81B3/00
代理机构		代理人
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