发明名称 AQUEOUS ANTIREFLECTIVE COATINGS FOR PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP0919014(A1) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 EP19970938358 申请日期 1997.08.15
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 DURHAM, DANA, L.;MCCULLOCH, IAIN;DAMMEL, RALPH, R.;LU, PING-HUNG;KANG, MING;KHANNA, DINESH, N.;DING, SHUJI
分类号 G03F7/11;C08F8/00;C08F8/30;C08F20/60;C08F220/54;C08L33/26;C09D133/24;C09D133/26;G03F7/09;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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