| 发明名称 |
WASTE LIQUID MECHANISM FOR BASE TREATMENT LIQUID TANK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11147035(A) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
JP19970313933 |
申请日期 |
1997.11.14 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
TSUCHIYA AKIO |
| 分类号 |
B08B3/04;B01J4/00;C23F1/08;C23G3/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B01J4/00 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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