| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURING EQUIPMENT OF THE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11150080(A) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
JP19970317059 |
申请日期 |
1997.11.18 |
| 申请人 |
DENSO CORP |
发明人 |
MITSUOKA YOSHIHITO;YAMAUCHI SHOICHI |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/265;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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