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发明名称 Verfahren zur Erzeugung von pn-Übergängen in Siliziumträgern
摘要
申请公布号 DE4035628(C2) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 DE19904035628 申请日期 1990.11.09
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 WILLMANN, MARTIN, DR.-ING., 7410 REUTLINGEN, DE
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L49/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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