Vorrichtung und Verfahren zur Plasmavorbereitung,申请号DE19970118505T-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung und Verfahren zur Plasmavorbereitung
摘要
申请公布号	DE875757(T1)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	DE19970118505T	申请日期	1997.10.24
申请人	BECTON DICKINSON AND COMP., FRANKLIN LAKES, N.J., US	发明人	CARROLL, RICHARD J., SYRACUSE, NY 13207, US;AUGELLO, FRANK A., CEDAR KNOLLS, NJ 07927, US
分类号	B01L3/14;(IPC1-7):G01N33/49	主分类号	B01L3/14
代理机构		代理人
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