| 主权项 |
1.一种电流测定方法,以电流一电压变换器而将被测定电流变换为电压讯号,藉由此电压讯号而对于透过光调制器之光赋予相位调制,使该被相位调制之光与被相位调制之光干涉而获得干涉光,而将此干涉光之强度变换为电气讯号以资特定上述被测定电流之値为其特征者。2.如申请专利范围第1项所述之电流测定方法,其中该赋予上述光调制器之光乃为合乎于测定定时地发生之光脉冲,积算该光脉冲之透过光量而求出被测定电流値者。3.一种电流感测器,具备:于介质基板上,由光分歧部,光合波部及形成于这些光合波部及这些光分歧部与光合波部之间之2条光波导路分别挟着这些2条之光波导路之一方而形成之2组之电场施加电极偶所构成之分歧干涉型之光调制器,及将被测定电流变换为电压讯号之电流一电压变换器,及用于支撑上述光调制器及电流电压变换器之基板,及对于上述光调制器赋予光之输入用光波导路,及取出由上述光调制器所出射之光涉光之输出用光波导路,而构成为其特征者。4.如申请专利范围第3项所述之电流感测器,其中于上述形成了上述光调制器之介质基板上,邻接于上述光调制器地设置补正用光波导路,而藉由透过该补正用光波导路之光所获得之电气讯号,以资可能补正由透过上述光调制器之光所获得之电气讯号者。5.一种IC试验装置,主要乃测定流于被试验IC之电源端子之电流,而以流于上述电源端子之电流之是否大于规定値来监定被试验IC之良否之IC试验装置中,其特征为:将流于上述电源端子之电流供给于上述申请专利范围第3项所规定之电流感测器之电流一电压变换器,而以光检出器,将该通过上述电流感测器之输出用光波导路所出射之干涉光之出射强度变换为电气讯号,将该电气讯号之大小与设定値做比较,以资监定上述被试验IC之良否而构成者。6.一种IC试验装置,主要乃测定流于被试验IC之电源端子之电流,而以流于上述电源端子之电流之是否大于规定値来监定被试验IC之良否之IC试验装置中,其特征为,将流于上述电源端子之电流供给于上述申请专利范围第4项所规定之电流感测器之电压一电流变换器,而以第1光检出器将介通上述电流感测器之输出用光波导路所出射之干涉光之输出强度变换为第1电气讯号,同时以第2光检出器将介通透过设于上述电气感测器之补正用光波导路之光强度变换为第2电气讯号,将上述第1电气讯号及第2电气讯号施予计算处理以补正第1电气讯号,将第1电气讯号之大小与设定値做比较以资监定上述被试验IC之良否而构成者。7.如申请专利范围第5项或第6项所述之IC试验装置,其中被试验IC乃高速地反复消费大电流之状态及消费微小电流之状态,而电流之测定即,主要以微小电流为测定对象者。8.如申请专利范围第5项或第6项所述之IC试验装置,其中,其构造为如被试验IC具备有复数之电源端子时,即被试验IC之各电源端子地分别设电流感测器,而设为各电源端子各分别地测定电流者。9.如申请专利范围第5项或第6项所述之IC试验装置,其中,其构造为如被试验IC具备有复数之电源端子时,即被试验IC之各电源端子地分别设电流感测器,同时光学的串联连接上述电流感测器之各光波导路,而以光之调制量而求得流于上述复数之电源端子之电流之和者。10.如申请专利范围第5项或第6项所述之IC试验装置,其中其构造为对于上述光调制器上,以每测定定时地赋予光脉冲,而以光检出器检出该光脉冲之调制量,而以各测定定时的测定电流値者。11.如申请专利范围第5项或第6项所述之IC试验装置,其中其构造为将上述电流感测器载置于由测试片所突出地支撑之测定用探针,将形成于半导体晶片之IC晶片之端子部份接触于上述测定用探针之先端以资试验IC晶片者。12.如申请专利范围第6项所述之IC试验装置,其中其构造为将透过邻接于上述光调制器而设之补正用光波导路之光所获得之电气讯号赋予光源驱动电路,由而将光源之发光强度予以安定化以资测定流于被试验IC之电流者。图式简单说明:第一图系为说明依本发明之电流测定方法,及使用此电流测定方法之电流感测器用之平面图。第二图系为说明依本发明之电流测定方法,及使用于电流感测器之光调制器之动作之平面图。第三图系为说明第二图所示之光调制器之动作之波形图。第四图系为说明第一图所示之实施例之动作之波形图。第五图系为说明第一图所示之电流测感测器之变形实施例之平面图。第六图系为说明本发明之电流测定方法之其他例之平面图。第七图系为说明本发明之电流感测器之光调制器之具体的构造之一例之斜视图。第八图系为说明依本发明之电流感测器之IC试验装置之一例之平面图。第九图系为说明第八图所示实施例之动作之波形图。第十图系为说明第八图所示实施例之变形实施例之平面图。第十一图系为说明第十图所示之实施例之动作之波形图。第十二图系为说明第八图所示之实施例之变形实施例之平面图。第十三图系为说明第八图所示之实施例之变形又一变形实施例之斜视图。第十四图系为说明依本发明之IC试验装置之变形实施例之平面图。第十五图系为说明先前技术用之连接图。第十六图系为说明第十五图所示之先前技术之动作用之波形图。 |
