| 主权项 |
1.一种高功率雷射束位置之感测系统,可使用于连续或脉冲式高功率雷射束之位置感测,其主要特征系将一经精密研磨之铜质凸球面镜,藉由变速马达之带动,以相对于系统原点某一点固定偏心量(r)之距离,绕系统原点转动,系统之原点系定义于与喷嘴出口中心相对应之旋转平面上,经由特珠的设计将焦电感测器,安装于R/√2之水平高度(R为凸球面镜之半径)。以使某一固定的反射雷射束能为感测器接收,为了有效提高检测密度,及避免反射能量太高,而损坏感测器。一具有细小口孔(0.5㎜)之铜质保护罩,被精确的固定在焦电感测器之前,前述之设计将使特定之微小局部的雷射能量被感测,当凸球面镜旋转一圈时,此微小局部将构成一完整之感测轨迹,感测轨迹之大小代表系统感测范围的大小,该轨迹的形状与大小,系受凸球面镜之半径、偏心量及焦电感测器距系统原点之距离影响,感测到之能量经光电感测器转换成电位讯号放大并数位化后,以数据撷取系统收集,经分析软体计算出雷射束中心位置并直接显示于电脑萤幕。2.依申请专利范围第一项所述之一种高功率雷射束位置感测系统,其中精研磨之铜质凸球面镜之半径、尺寸、球面镜材质、球面镜表面之抗反射镀层、球面镜之旋转偏心量,可依实际感测之对象,进行尺寸、材质、抗反射涂层种类或旋转偏心量的调整。3.依申请专利范围第一项所述之一种高功率雷射束位置感测系统,其中精密研磨之铜质凸球面镜,其球面镜氧化或锈蚀时,可拆卸重新研磨与蒸镀,并以备用之球面镜继续进行感测,而不使系统闲置。4.依申请专利范围第一项所述之一种高功率雷射束位置感测系统,其中具有细小口孔孔径之铜质保护罩,亦可视不同使用情形,进行抽换以保护焦电感测器。图式简单说明:第一图系本发明之系统装置及构造内容之平面图。 |
