| 主权项 |
1.一种用以在一基片上形成一涂层之组合工具系统,包括:复数个制程模组,用以形成该涂层,该每个制程模组包括一具有第一装置之制程室,在该涂层于该基片上形成之期间,其装置受制于该室中之沈积制程;一单一配供模组,其具有至少一适于替换在任一该制程模组中之该第一装置之替换装置,其中该配供模组维持在一真空以便减少该替换装置之排气至所需之程度;一中央罩框,其可移动式固定于该每个制程模组及该配供模组;一气阀,用以隔离该配供模组与该中央罩框及该每个制程模组;抽空装置,用以抽空每个制程模组、该配供模组及该中央罩框至该真空,其中当该气阀开启时,该每个制程模组、该配供模组及该中央罩框之抽空足以维持该真空,因此使真空所需时间减至最低;及一单一自动机械元件,其位于该中央罩框中,其中该自动机械元件用以自一选择自任一该制程模组之选择制程模组处,将该第一装置运送至该配供模组,并用以自该配供模组处将该替换装置运送至该选择制程模组,以便在该真空中更换该第一装置。2.如申请专利范围第1项之组合工具系统,更包含一支架,该支架具有至少一架子以便储存该替换装置及承接该第一装置。3.如申请专利范围第2项之组合工具系统,更包含一驱动机械装置移动该架子而与该自动机械元件对准。4.如申请专利范围第1项之组合工具系统,其中该配供模组包含一泵,以抽空该配供模组至一适于排气之真空位准。5.一种用以在一基片上形成一涂层之组合工具系统,包括:复数个制程模组,用以形成该涂层,该个制程模组包括一具有第一装置之制程室,在该涂层于该底板上形成之期间,其装置受制于该室中之沈积制程;一单一配供模组,其具有至少一适于替换该第一装置之替换装置,其中该配供模组维持在一真空以便减少该替换装置之排气至所需之程度;一中央罩框,其可移动式流动连通固定于该每个制程模组及该配供模组;一气阀,用以隔离该配供模组与该中央单框及该每个制程模组;抽空装置,用以抽空该每个制程模组、该配供模组及该中央罩框至该真空,其中当该气阀开启时,该每个制程模组、该配供模组及该中央罩框之抽空足以维持该真空,因此使真空所需时间减至最低;一单一自动机械元件,其位于该中央罩框中,其中该自动机械元件用以自一选择制程模组处,将该第一装置运送至该配供模组,并用以自该配供模组处将该替换装置运送至该选择制程模组,以使在该真空中更换该第一装置;一储存元件,其用以在该配供模组中储存该替换装置;以及一驱动机械装置,其在该制程模组中移动该储存元件,以便在该真空下使该自动机械臂将该第一夹具置于储存元件中,并自该储存元件处理运送该替换装置至制程模组。6.如申请专利范围第5项之组合工具系统,其中该储存元件包含一支架,其具有复数个架子。7.如申请专利范围第5项之组合工具系统,更包含一泵以抽空该配供模组。图式简单说明:第一图系先前技艺喷溅系统之顶视图。第二图系适用喷溅一底板之系统之顶视图,其具有一根据本发明之一配供模组。第三图系沿着第二图中线3-3之本发明部份剖视图,说明一位于系统遮蔽物上之受包覆夹具。第四图系沿着第二图中线3-3之本发明部份剖视图,说明位于系统遮蔽物上之该受包覆夹具。第五图系沿着第二图中线3-3之本发明部份剖视图,说明一自系统遮蔽处移开之替换夹具。第六图A之透视图说明利用自动机械臂而适用于组装之夹具环及安装底座。第六图B系环及安装底座之部份剖视侧视图。第六图C之部份剖视图显示固定至底座之环。第七图系本发明另一具体实施例,其显示位于中心室中之支架。第八图系本发明另一具体实施例,其中配供模组直接连接至一制程模组。 |
