APPARATUS OF POLYMER REMOVING AND FORMING PROTECTION FILM IN SEMICONDUCTOR APPARATUS,申请号KR19960020522U-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS OF POLYMER REMOVING AND FORMING PROTECTION FILM IN SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号	KR200142845(Y1)	申请公布日期	1999.06.01
申请号	KR19960020522U	申请日期	1996.07.11
申请人	HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.	发明人	SHIN, KYUNG-CHUL
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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