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发明名称 SINGLE BODY INJECTOR AND METHOD FOR DELIVERING GASES TO A SURFACE
摘要
申请公布号 KR100190355(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19950020958 申请日期 1995.07.18
申请人 WATKINS-JOHNSON COMPANY 发明人 DEDONTNEY, JAY;GRALENSKI, NICHOLAS M.;MILLER, ADAM Q.
分类号 C23C16/44;C03C17/00;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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