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发明名称 METHOD OF FABRICATING A MICRO-TRENCH STORAGE CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR100188798(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19940022238 申请日期 1994.08.31
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HIROTA, TOSHIYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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