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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100187743(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960001592 申请日期 1996.01.25
申请人 NEC CORPORATION 发明人 SHISHIGUCHI, SEIICHI
分类号 C23C16/24;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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