发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100188445(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19950006825 申请日期 1995.03.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 MATSUMOTO, SHOJI;NAGANO, YOSHIHISA;SHIMADA, YASUHIRO;IZUTSU, YASUFUI
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/82 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址