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发明名称 WAFER CARRIER
摘要
申请公布号 KR100189960(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19910009348 申请日期 1991.05.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 SHIM, KEUN-SUP;YOO, SNGG-YONG;JANG, YOUNG-DONG
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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