发明名称 LAIN LAYER PATTEN FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE FOR DRAM
摘要
申请公布号 KR100190027(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960006646 申请日期 1996.03.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LIM, KYEONG-SEOB
分类号 H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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