| 发明名称 |
VERTICAL TYPE HEAT-TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100175065(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.01 |
| 申请号 |
KR19890011121 |
申请日期 |
1989.08.03 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI LIMITED |
发明人 |
WATANABE, SHINGO |
| 分类号 |
C30B35/00;F27D7/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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