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发明名称 SPUTTERING APPARATUS AND SPUTTERING PROCESSING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100189675(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19910070482 申请日期 1991.05.13
申请人 SONY CORPORATION 发明人 IKEDA, JIRO
分类号 C23C14/34;C23C14/56;G11B7/26;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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