发明名称 TRENCH ISOLATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100190065(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960029872 申请日期 1996.07.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, SUNG-EUI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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