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发明名称 SILICIDE FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100190060(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960028884 申请日期 1996.07.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 BAE, DAE-OG;LEE, EUN-AH
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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