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发明名称 METHOD OF FORMING SHALLOW JUNCTION
摘要
申请公布号 KR100190047(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960022599 申请日期 1996.06.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KO, KWANG-MAN
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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