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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR100190086(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960035896 申请日期 1996.08.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 JO, JUN-KUL
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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