| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND DRY ETCHING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100190178(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.01 |
| 申请号 |
KR19950038795 |
申请日期 |
1995.10.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO.. LTD. |
发明人 |
ERIGUCHI, GOJI |
| 分类号 |
H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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