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发明名称 APPARATUS FOR DRAWING SINGLE CRYSTALS BY THE CZOCHRALSKI METHOD
摘要
申请公布号 KR100189482(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960073462 申请日期 1996.12.27
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDIN 发明人 AUFREITER, JOACHIM;ALTEKRUEGER, BURKHARD
分类号 C30B15/26;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/26
代理机构 代理人
主权项
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