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发明名称 Indretning til frembringelse af en plasma
摘要
申请公布号 DK0468886(T3) 申请公布日期 1999.05.31
申请号 DK19910402057T 申请日期 1991.07.24
申请人 ATEA SOCIETE ATLANTIQUE DE TECHNIQUES AVANCEES 发明人 DESSAUX, ODILE;DUPRET, CHRISTIAN;GOUDMAND, PIERRE;HOYEZ, CHRISTOPHE
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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