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发明名称 TEST METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11142487(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970322067 申请日期 1997.11.07
申请人 NEC CORP 发明人 SAEGUSA YASUHIRO
分类号 G01R31/317;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/317 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
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