| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR QUANTITATIVE CONTAMINATION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11142389(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970303196 |
申请日期 |
1997.11.05 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TANAKA TAKASHI;SHIROMIZU YOSHIMI |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N1/28;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N33/00 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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