发明名称 FILM AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11145077(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970301176 申请日期 1997.10.31
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 LU JOING-PING;HSU WEI-YUNG;KII ZON HON
分类号 C23C16/34;C23C28/00;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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