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经营范围
发明名称
SUBSTRATE DRYER
摘要
申请公布号
JPH11145103(A)
申请公布日期
1999.05.28
申请号
JP19970306735
申请日期
1997.11.10
申请人
DAN KAGAKU:KK
发明人
HIRATSUKA YUTAKA;FUJIKAWA NOBUYUKI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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