| 发明名称 |
OXIDE FILM THICKNESS MEASURING SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11142577(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970305274 |
申请日期 |
1997.11.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI NUCLEAR ENG CO LTD |
发明人 |
FUJIWARA KENICHI;YASUDA TAKAYOSHI;FUKUMOTO TAKASHI |
| 分类号 |
G01B7/06;G01B7/00;G21C17/003;G21C17/06;(IPC1-7):G21C17/003 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
