发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EMISSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11142596(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19980241354 申请日期 1998.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 AKIYAMA HIROSHI;HIRAMOTO KAZUO;MATSUDA KOJI;NORIMINE TETSUROU
分类号 G21K1/087;A61N5/10;G21K5/04;H01J37/147;(IPC1-7):G21K1/087 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
主权项
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