发明名称 HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH11145072(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970320325 申请日期 1997.11.06
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SHIMAZU TOMOHISA
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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