| 发明名称 |
TEMPERATURE ADJUSTMENT PLATE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11145235(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970325478 |
申请日期 |
1997.11.10 |
| 申请人 |
ORION MACH CO LTD |
发明人 |
TSUBOI HIRAKI;NAKAMURA YUMIO;ASANUMA KAZUNORI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
