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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH11145214(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970307182 申请日期 1997.11.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAYAMA TOMOYUKI;TSUJI KAZUHIKO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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