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发明名称 STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING IT
摘要
申请公布号 JPH11145019(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970312245 申请日期 1997.11.13
申请人 NEC CORP 发明人 HAMASHIMA TOMOHIRO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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