| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING ANALYZING CLEANLINESS OF CLEAN ROOM AMBIENCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11142381(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970304110 |
申请日期 |
1997.11.06 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SHIROMIZU YOSHIMI;TANAKA TAKASHI |
| 分类号 |
G01N30/00;G01N30/04;G01N30/08;G01N30/88;(IPC1-7):G01N30/04 |
主分类号 |
G01N30/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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