发明名称 |
TEMPERATURE CONTROLLER AND METHOD FOR BATCH MEASURING TEST OF WAFER, AND BURN-IN APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11145217(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
申请号 |
JP19970311797 |
申请日期 |
1997.11.13 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKADA YOSHIRO |
分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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