CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FILM-FORMING DEVICE,申请号JP19970306036-传众专利搜索

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发明名称	CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FILM-FORMING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH11145125(A)	申请公布日期	1999.05.28
申请号	JP19970306036	申请日期	1997.11.07
申请人	SONY CORP	发明人	NOHAMA SHIYOUJI
分类号	H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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