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发明名称 VAPOR PHASE THIN FILM GROWING DEVICE AND GROWING METHOD THEREOF USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11145066(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970323865 申请日期 1997.11.10
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD;TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 OHASHI TADASHI;CHAGI KATSUHIRO;FUJII TATSUO;IWATA KATSUYUKI;SHIN TAIRA;MITANI SHINICHI;HONDA YASUAKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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