| 发明名称 |
CLEANING DEVICE FOR PROBE CARD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11145212(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970305312 |
申请日期 |
1997.11.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MAI MIKIYA;FURUMOTO KENJI;NAKAYAMA TOMOYUKI |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
