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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11145113(A)
申请公布日期
1999.05.28
申请号
JP19970312183
申请日期
1997.11.13
申请人
NEC CORP
发明人
SHOJI HIDEYUKI;SUKEGAWA MITSUNARI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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