发明名称 PLASMA ION SOURCE MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 JPH11144674(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970306803 申请日期 1997.11.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 SHIRASAKI TOSHIHIRO
分类号 G01N27/62;H01J49/42;(IPC1-7):H01J49/42 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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