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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11145397(A)
申请公布日期
1999.05.28
申请号
JP19970309024
申请日期
1997.11.11
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MAKINO HIROYUKI
分类号
H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H03K19/00;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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