MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19970312186-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH11145140(A)	申请公布日期	1999.05.28
申请号	JP19970312186	申请日期	1997.11.13
申请人	NEC CORP	发明人	ONUMA TAKUJI
分类号	H01L21/31;H01L21/304;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320	主分类号	H01L21/31
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