发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11145284(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970307641 申请日期 1997.11.10
申请人 SONY CORP 发明人 HASEGAWA TOSHIAKI
分类号 H01L21/768;H01L21/312;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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